HCD方式反応性イオ...

HCD方式反応性イオンプレーティング法により形成したチタン窒化物皮膜に発生する圧縮応力への影響因子

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HCD方式反応性イオンプレーティング法により形成したチタン窒化物皮膜に発生する圧縮応力への影響因子

国立国会図書館請求記号
Z17-314
国立国会図書館書誌ID
5990200
資料種別
記事
著者
三浦 健一ほか
出版者
仙台 : 日本金属学会 ; 1937-
出版年
2001
資料形態
掲載誌名
日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials 65(11) 2001
掲載ページ
p.981~986
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
三浦 健一
石神 逸男
タイトル(掲載誌)
日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
巻号年月日等(掲載誌)
65(11) 2001
掲載巻
65
掲載号
11
掲載ページ
981~986
掲載年月日(W3CDTF)
2001