HCD方式反応性イオンプレーティング法により形成したチタン窒化物皮膜に発生する圧縮応力への影響因子
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 三浦 健一石神 逸男
- タイトル（掲載誌）
- 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65(11) 2001
- 掲載巻
- 65
- 掲載号
- 11
- 掲載ページ
- 981～986
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2001