Role of Ultra Thin SiOx Layer for Epitaxial Growth of YSZ/SiOx/(001)Si Thin Films (Special Issue Ceramics Integration)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 木口 賢紀脇谷 尚樹篠崎 和夫 他
- 並列タイトル等
- YSZ/SiOx/(001)Si薄膜のエピタキシャル成長における極薄SiOx層の役割
- タイトル（掲載誌）
- 日本セラミックス協会学術論文誌 / 日本セラミックス協会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 110(1281) 2002.5
- 掲載巻
- 110
- 掲載号
- 1281