技術報告 クリプトン...

技術報告 クリプトンガスを用いたマイクロ波励起高密度プラズマプロセス

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技術報告 クリプトンガスを用いたマイクロ波励起高密度プラズマプロセス

国立国会図書館請求記号
Z17-1192
国立国会図書館書誌ID
6374009
資料種別
記事
著者
大見 忠弘ほか
出版者
川崎 : 日本酸素技術本部「日本酸素技報」編集事務局
出版年
2002
資料形態
掲載誌名
日本酸素技報 (21) 2002
掲載ページ
p.2~7
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
大見 忠弘
石原 良夫
長谷川 英晴
タイトル(掲載誌)
日本酸素技報
巻号年月日等(掲載誌)
(21) 2002
掲載号
21
掲載ページ
2~7
掲載年月日(W3CDTF)
2002
ISSN(掲載誌)
0914-8280