日本酸素技報

• 資料種別: 雑誌
• タイトル: 日本酸素技報
• タイトルよみ: ニホン サンソ ギホウ
• 巻次・部編番号: (19)-(22) 20000000-20030000
• 著者標目: 日本酸素株式会社 ニホン サンソ カブシキ ガイシャ ( 00294519 )典拠
• 出版事項: 川崎 : 日本酸素技術本部「日本酸素技報」編集事務局
• 出版年月日等: 2000-2003
• 出版年（W3CDTF）: 2000-2003
• 刊行巻次・年月次: No.1(1982)-no.22(2003)
• 大きさ: 30cm
• 並列タイトル等: Nippon Sanso engineering report
• ISSN（掲載誌）: 0914-8280
• ISSN-L（掲載誌）: 0914-8280
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZP8
• 一般注記: 本タイトル等は最新号による; 出版地の変更あり
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z17-1192
• 改題後: 継続後 : 大陽日酸技報; https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R100000002-I000007517501
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000000065123; http://id.ndl.go.jp/bib/000000065123
• 目録規則: 国立国会図書館逐次刊行物目録規則

目次

技術報告 クリプトンガスを用いたマイクロ波励起高密度プラズマプロセス

技術報告 リアクターサイズ2インチ×3横型大気圧GaN-MOCVD装置の開発

技術報告 半導体プロセスガス中の粒子制御技術評価のための溶接ヒュームを用いた超微粒子含有ドライガス発生法

技術報告 磁気軸受式膨張タービンの開発

技術報告 モデル予測制御に基づく空気分離装置の安定化手法

空気の深冷分離--蒸留による酸素の製造

空気液化分離装置のための空気の前処理精製

空気分離装置の試運転技術の変遷

化合物半導体の有機金属気相成長技術--日本酸素における取り組み

有機金属錯体の開発

技術報告 量子化学法によるトリクロロシランと吸着水の気相反応機構

技術報告 高速酸素バーナーランス(SCOPE-JET)の開発

技術報告 深冷空気分離装置の前処理TSA装置のシミュレータ開発

技術紹介 タービン駆動式低温圧縮機の高性能化

技術紹介 SiGe薄膜の成長に適したガス精製/除害技術

流下液膜式主凝縮器の開発

GC/APIMSを用いたバルクガスの新自動分析システムの開発

APIMSによる高純度バルクガス中の有機化合物分析法

ガラス溶融炉内酸素燃焼のシミュレーション

酸素燃焼による金属溶融技術の開発(NSR Process)