解説 金属・半導体接合界面制御によるオーム性電極材料開発--n型GaAs化合物半導体を例として (〔日本真空協会〕関西支部企画 特集 界面制御と機能発現)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 村上 正紀守山 実希
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 45(11) 2002.11
- 掲載巻
- 45
- 掲載号
- 11
- 掲載ページ
- 783～790