半導体配線用超微細金線の製造技術と諸特性 (特集 塑性変形を利用した高付加価値加工)

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半導体配線用超微細金線の製造技術と諸特性

(特集 塑性変形を利用した高付加価値加工)

国立国会図書館請求記号
Z14-1502
国立国会図書館書誌ID
6829427
資料種別
記事
著者
板橋 一光
出版者
横浜 : コンパス社
出版年
2003-07
資料形態
掲載誌名
バウンダリー : 材料開発ジャーナル / コンパス社 [編] 19(7) (通号 218) 2003.7
掲載ページ
p.8~12
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
板橋 一光
著者標目
タイトル(掲載誌)
バウンダリー : 材料開発ジャーナル / コンパス社 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
19(7) (通号 218) 2003.7
掲載巻
19
掲載号
7
掲載通号
218