メッキ銅配線層の薄膜効果による比抵抗の増加

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メッキ銅配線層の薄膜効果による比抵抗の増加

国立国会図書館請求記号
Z15-411
国立国会図書館書誌ID
6870918
資料種別
記事
著者
雙木 賢一ほか
出版者
小金井 : 法政大学イオンビーム工学研究所
出版年
2002
資料形態
掲載誌名
法政大学イオンビーム工学研究所報告 (23) 2002年度
掲載ページ
p.27~29
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
雙木 賢一
原 徹
タイトル(掲載誌)
法政大学イオンビーム工学研究所報告
巻号年月日等(掲載誌)
(23) 2002年度
掲載号
23
掲載ページ
27~29
掲載年月日(W3CDTF)
2002
ISSN(掲載誌)
0286-0201