メタン/水素マイクロ波プラズマCVD法による純チタン基板上のナノダイヤモンド成膜
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Cheolmun Yim辛 道勲林 祐輔 他
- タイトル（掲載誌）
- 材料 / 日本材料学会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 54(1) 2005.1
- 掲載巻
- 54
- 掲載号
- 1
- 掲載ページ
- 73～78
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2005-01