半導体微細加工技術を用いたガラスチップ製造法 (特集流体MEMSのすべて--マイクロ流体デバイスの応用展開とその実用化)

半導体微細加工技術を用いたガラスチップ製造法

(特集流体MEMSのすべて--マイクロ流体デバイスの応用展開とその実用化)

国立国会図書館請求記号: Z16-225
国立国会図書館書誌ID: 7714053

資料種別: 記事

著者: 渡慶次学

出版者: 東京 : 工業調査会

出版年: 2005-11

資料形態: 紙

掲載誌名: 電子材料 44(11) 2005.11

掲載ページ: p.26～28

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紙

資料種別: 記事
タイトル: 半導体微細加工技術を用いたガラスチップ製造法
著者・編者: 渡慶次学
シリーズタイトル: 特集流体MEMSのすべて--マイクロ流体デバイスの応用展開とその実用化
著者標目: 渡慶次学
タイトル（掲載誌）: 電子材料
巻号年月日等（掲載誌）: 44(11) 2005.11
掲載巻: 44
掲載号: 11
掲載ページ: 26～28
掲載年月日（W3CDTF）: 2005-11
ISSN（掲載誌）: 0387-0774
ISSN-L（掲載誌）: 0387-0774
出版事項（掲載誌）: 東京 : 工業調査会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-225
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 7714053
http://id.ndl.go.jp/bib/7714053
整理区分コード: 632

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