ターゲットにポリイミドを用いて作製したスパッタ高分子薄膜の摩擦・摩耗特性と銅基板との密着性(窒素ガスの効果)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 岩森 暁上村 彰宏
- タイトル（掲載誌）
- 日本接着学会誌 = Journal of the Adhesion Society of Japan : adhesion
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 42(3) 2006
- 掲載巻
- 42
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 89～96
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2006