次世代Siデバイス向けPECVD低誘電率層間絶縁膜用プレカーサーの開発
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 田島 暢夫神力 学宮澤 和浩 他
- タイトル（掲載誌）
- 大陽日酸技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (24) 2005
- 掲載号
- 24
- 掲載ページ
- 16～21
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2005
- ISSN（掲載誌）
- 1349-693X