希薄NaCl電解還元...

希薄NaCl電解還元水を用いたシリコンウエハの精密研磨

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希薄NaCl電解還元水を用いたシリコンウエハの精密研磨

国立国会図書館請求記号
Z74-D889
国立国会図書館書誌ID
8536840
資料種別
記事
著者
佐藤 運海ほか
出版者
東京 : 精密工学会
出版年
2006-10
資料形態
掲載誌名
精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編 72(10) (通号 862) 2006.10
掲載ページ
p.1247~1252
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
佐藤 運海
市川 浩一郎
タイトル(掲載誌)
精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
72(10) (通号 862) 2006.10
掲載巻
72
掲載号
10
掲載通号
862
掲載ページ
1247~1252