雑誌映像情報industrial
巻号38巻13号(通号749) 2006年12月
記事大サイズ・高分解能イ...

大サイズ・高分解能イメージングプレートを使うX線画像検査システム「FCR AC-5」 (特集1 半導体製造にはX線非破壊検査装置)

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大サイズ・高分解能イメージングプレートを使うX線画像検査システム「FCR AC-5」

(特集1 半導体製造にはX線非破壊検査装置)

国立国会図書館請求記号
Z74-C199
国立国会図書館書誌ID
8591394
資料種別
記事
著者
福岡 孝義
出版者
東京 : 産業開発機構
出版年
2006-12
資料形態
紙
掲載誌名
映像情報industrial 38(13) (通号 749) 2006.12
掲載ページ
p.47～50
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紙

資料種別
記事
タイトル
大サイズ・高分解能イメージングプレートを使うX線画像検査システム「FCR AC-5」
著者・編者
福岡 孝義
シリーズタイトル
特集1 半導体製造にはX線非破壊検査装置
著者標目
福岡 孝義
タイトル（掲載誌）
映像情報industrial
巻号年月日等（掲載誌）
38(13) (通号 749) 2006.12
掲載巻
38
掲載号
13
掲載通号
749