雑誌映像情報industrial
Volume number38巻13号(通号749) 2006年12月
Article大サイズ・高分解能イ...

大サイズ・高分解能イメージングプレートを使うX線画像検査システム「FCR AC-5」 (特集1 半導体製造にはX線非破壊検査装置)

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大サイズ・高分解能イメージングプレートを使うX線画像検査システム「FCR AC-5」

(特集1 半導体製造にはX線非破壊検査装置)

Call No. (NDL)
Z74-C199
Bibliographic ID of National Diet Library
8591394
Material type
記事
Author
福岡 孝義
Publisher
東京 : 産業開発機構
Publication date
2006-12
Material Format
Paper
Journal name
映像情報industrial 38(13) (通号 749) 2006.12
Publication Page
p.47～50
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Paper

Material Type
記事
Title
大サイズ・高分解能イメージングプレートを使うX線画像検査システム「FCR AC-5」
Author/Editor
福岡 孝義
Series Title
特集1 半導体製造にはX線非破壊検査装置
Author Heading
福岡 孝義
Periodical title
映像情報industrial
No. or year of volume/issue
38(13) (通号 749) 2006.12
Volume
38
Issue
13
Sequential issue number
749