低エネルギー質量分離イオンビーム照射装置を用いたネオンによる金のスパッタ率の測定 (第47回真空に関する連合講演会プロシーディングス--2006年11月7日～9日,大阪)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 日根 清裕吉村 智木内 正人 他
- 並列タイトル等
- Measurement of Au sputtering yields by neon with low-energy mass analyzed ion beam system
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 50(3) 2007.3
- 掲載巻
- 50
- 掲載号
- 3