最近の展望 窒化物半...

最近の展望 窒化物半導体薄膜の走査プローブ顕微鏡による微視的評価

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最近の展望 窒化物半導体薄膜の走査プローブ顕微鏡による微視的評価

国立国会図書館請求記号
Z15-243
国立国会図書館書誌ID
8808411
資料種別
記事
著者
高村(山田) 由起子ほか
出版者
東京 : 応用物理学会
出版年
2007-05
資料形態
掲載誌名
応用物理 76(5) 2007.5
掲載ページ
p.499~504
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
高村(山田) 由起子
王 治涛
藤川 安仁 他
並列タイトル等
Recent developments: Surface studies of nitride thin films using scanning probe microscopy
タイトル(掲載誌)
応用物理
巻号年月日等(掲載誌)
76(5) 2007.5
掲載巻
76
掲載号
5
掲載ページ
499~504