共焦点型3次元蛍光X線分析装置の開発と微小部深さ方向分析への応用 (第26回表面科学講演大会論文特集(2))

共焦点型3次元蛍光X線分析装置の開発と微小部深さ方向分析への応用

(第26回表面科学講演大会論文特集(2))

掲載誌名: 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会編 28(8) 2007.8

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資料種別: 記事
タイトル: 共焦点型3次元蛍光X線分析装置の開発と微小部深さ方向分析への応用
著者・編者: 辻幸一
野寺雄太
中野和彦
シリーズタイトル: 第26回表面科学講演大会論文特集(2)
著者標目: 辻幸一
野寺雄太
中野和彦
並列タイトル等: Development of confocal 3D X-ray fluorescence instrument and its applications to micro depth profiling
タイトル（掲載誌）: 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会編
巻号年月日等（掲載誌）: 28(8) 2007.8
掲載巻: 28
掲載号: 8
掲載ページ: 447～452
掲載年月日（W3CDTF）: 2007-08
ISSN（掲載誌）: 0388-5321
ISSN-L（掲載誌）: 0388-5321
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本表面科学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: X-ray fluorescence
confocal
3D
polycapillary X-ray lense
depth analysis
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-379
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 8922348
http://id.ndl.go.jp/bib/8922348
整理区分コード: 632