タッピングモードAFMにおける表面形状オブザーバの提案 (産業計測制御研究会 テーマ「ナノスケールサーボのための制御技術」)

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タッピングモードAFMにおける表面形状オブザーバの提案

(産業計測制御研究会 テーマ「ナノスケールサーボのための制御技術」)

国立国会図書館請求記号
Z43-2260
国立国会図書館書誌ID
8964922
資料種別
記事
著者
白石 貴行ほか
出版者
東京 : 電気学会
出版年
2007-09-14
資料形態
掲載誌名
電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2007(116-133) 2007.9.14
掲載ページ
p.17~22
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
白石 貴行
藤本 博志
並列タイトル等
Proposal of surface topography observer for tapping mode AFM
タイトル(掲載誌)
電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
巻号年月日等(掲載誌)
2007(116-133) 2007.9.14
掲載巻
2007
掲載号
116-133