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雑誌電気学会研究会資料 IIC
Volume number2007(1)-2007(139):2007.3.5-2007.9.27 (欠番5)
ArticleタッピングモードAF...

タッピングモードAFMにおける表面形状オブザーバの提案 (産業計測制御研究会 テーマ「ナノスケールサーボのための制御技術」)

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タッピングモードAFMにおける表面形状オブザーバの提案

(産業計測制御研究会 テーマ「ナノスケールサーボのための制御技術」)

Call No. (NDL)
Z43-2260
Bibliographic ID of National Diet Library
8964922
Material type
記事
Author
白石 貴行ほか
Publisher
東京 : 電気学会
Publication date
2007-09-14
Material Format
Paper
Journal name
電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編] 2007(116-133) 2007.9.14
Publication Page
p.17～22
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Paper

Material Type
記事
Title
タッピングモードAFMにおける表面形状オブザーバの提案
Author/Editor
白石 貴行
藤本 博志
Series Title
産業計測制御研究会 テーマ「ナノスケールサーボのための制御技術」
Author Heading
白石 貴行
藤本 博志
Alternative Title
Proposal of surface topography observer for tapping mode AFM
Periodical title
電気学会研究会資料. IIC / 電気学会産業計測制御研究会 [編]
No. or year of volume/issue
2007(116-133) 2007.9.14
Volume
2007
Issue
116-133