SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 吉田 浩也松室 昭仁岩田 博之 他
- 並列タイトル等
- Nanoprocessing on silicon (100) surface by using SPM and the study of the structural change
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 73(10) (通号 874) 2007.10
- 掲載巻
- 73
- 掲載号
- 10
- 掲載通号
- 874