SPMを用いたSi単...

SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化

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SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化

国立国会図書館請求記号
Z16-466
国立国会図書館書誌ID
8968103
資料種別
記事
著者
吉田 浩也ほか
出版者
東京 : 精密工学会
出版年
2007-10
資料形態
掲載誌名
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 73(10) (通号 874) 2007.10
掲載ページ
p.1149~1153
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
吉田 浩也
松室 昭仁
岩田 博之 他
並列タイトル等
Nanoprocessing on silicon (100) surface by using SPM and the study of the structural change
タイトル(掲載誌)
精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
73(10) (通号 874) 2007.10
掲載巻
73
掲載号
10
掲載通号
874