極微細マルチゲートデバイスにおける面方位依存性の検討 (シリコン材料・デバイス)

記事を表すアイコン

極微細マルチゲートデバイスにおける面方位依存性の検討

(シリコン材料・デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
9256286
資料種別
記事
著者
三成 英樹ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2007-10-30
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107(297) 2007.10.30
掲載ページ
p.15~18
すべて見る

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
記事
著者・編者
三成 英樹
西谷 大祐
森 伸也
シリーズタイトル
並列タイトル等
Crystalline orientation effects on device characteristics in ultra-small multi-gate devices
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
107(297) 2007.10.30
掲載巻
107
掲載号
297