極微細マルチゲートデバイスにおける面方位依存性の検討 (シリコン材料・デバイス)

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極微細マルチゲートデバイスにおける面方位依存性の検討

(シリコン材料・デバイス)

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
9256286
Material type
記事
Author
三成 英樹ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2007-10-30
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 107(297) 2007.10.30
Publication Page
p.15~18
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
三成 英樹
西谷 大祐
森 伸也
Alternative Title
Crystalline orientation effects on device characteristics in ultra-small multi-gate devices
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
107(297) 2007.10.30
Volume
107
Issue
297