高分解能RBS法の原...

高分解能RBS法の原理と分析精度 (特集 極薄膜の深さ方向分析)

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高分解能RBS法の原理と分析精度

(特集 極薄膜の深さ方向分析)

国立国会図書館請求記号
Z15-379
国立国会図書館書誌ID
9265513
資料種別
記事
著者
木村 健二ほか
出版者
東京 : 日本表面科学会
出版年
2007-11
資料形態
掲載誌名
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編 28(11) 2007.11
掲載ページ
p.626~632
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
木村 健二
中嶋 薫
並列タイトル等
Principles and precision of high-resolution RBS
タイトル(掲載誌)
表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
28(11) 2007.11
掲載巻
28
掲載号
11