プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析

国立国会図書館請求記号: Z15-8
国立国会図書館書誌ID: 9324674

資料種別: 記事

著者: 篠原正典ほか

出版者: 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

出版年: 2007-12

資料形態: デジタル

掲載誌名: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 83(12) 2007.12

掲載ページ: p.935～941

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析
著者・編者: 篠原正典
藤山寛
著者標目: 篠原正典
藤山寛
並列タイトル等: Investigation of reactions at the subsurface region in plasma film deposition process
タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編
巻号年月日等（掲載誌）: 83(12) 2007.12
掲載巻: 83
掲載号: 12
掲載ページ: 935～941
掲載年月日（W3CDTF）: 2007-12
ISSN（掲載誌）: 0918-7928
ISSN-L（掲載誌）: 0918-7928
出版事項（掲載誌）: 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: plasma processing
subsurface
amorphous carbon film
infrared spectroscopy
multiple internal reflection geometry
hydrocarbon
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-8
関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10456920
関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10456920
http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10456920
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 9324674
http://id.ndl.go.jp/bib/9324674
整理区分コード: 632