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プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析

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プラズマ成膜プロセスにおけるサブサーフェスでの反応過程解析

国立国会図書館請求記号
Z15-8
国立国会図書館書誌ID
9324674
資料種別
記事
著者
篠原 正典ほか
出版者
名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
出版年
2007-12
資料形態
デジタル
掲載誌名
プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 83(12) 2007.12
掲載ページ
p.935~941
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
篠原 正典
藤山 寛
並列タイトル等
Investigation of reactions at the subsurface region in plasma film deposition process
タイトル(掲載誌)
プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
83(12) 2007.12
掲載巻
83
掲載号
12
掲載ページ
935~941