放射光を用いた窒化アルミニウム-銅積層膜の熱応力その場測定 (小特集 結晶回折法および電子線後方散乱法による材料評価)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 日下 一也英 崇夫金子 健太 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- In-situ thermal stress measurement in multi-layered aluminum nitride and copper films by synchrotron radiation
- タイトル（掲載誌）
- 日本機械学会論文集. A編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 74(739) 2008.3
- 掲載巻
- 74
- 掲載号
- 739