小山田記念賞半導体製造装置・薄型ディスプレイ製造装置用基板ホルダーの製造方法開発

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資料種別: 記事
タイトル: 小山田記念賞半導体製造装置・薄型ディスプレイ製造装置用基板ホルダーの製造方法開発
著者・編者: 渡邊克己
福地昭
大内昌雄他
著者標目: 渡邊克己
福地昭
大内昌雄
並列タイトル等: Oyamada Memorial lecture: Development of production method of substrate holder for manufacturing equipments of semiconductor and flat panel display
タイトル（掲載誌）: 軽金属
巻号年月日等（掲載誌）: 58(3) (通号 569) 2008.3
掲載巻: 58
掲載号: 3
掲載通号: 569
掲載ページ: 117～122
掲載年月日（W3CDTF）: 2008-03
ISSN（掲載誌）: 0451-5994
ISSN-L（掲載誌）: 0451-5994
出版事項（掲載誌）: 東京 : 軽金属学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: forging
joining
semiconductor-manufacturing equipment
flat panel display
NDLC: ZP41
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z17-284
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 9440474
http://id.ndl.go.jp/bib/9440474
整理区分コード: 632