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SACVD酸化膜によ...

SACVD酸化膜による電気性能の改善

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SACVD酸化膜による電気性能の改善

国立国会図書館請求記号
Z74-E304
国立国会図書館書誌ID
9532268
資料種別
記事
著者
Cary Chingほか
出版者
東京 : リード・ビジネス・インフォメーション
出版年
2008-06
資料形態
掲載誌名
Semiconductor international. 日本版 5(6) 2008.6
掲載ページ
p.25~29
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
Cary Ching
Harry Whitesell
Shankar Venkataraman
並列タイトル等
Improving electrical performance using SACVD oxide films
タイトル(掲載誌)
Semiconductor international. 日本版
巻号年月日等(掲載誌)
5(6) 2008.6
掲載巻
5
掲載号
6
掲載ページ
25~29