Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Deposition Technique for Capacitor Films with High Dielectric Constant. 48 11

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Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Deposition Technique for Capacitor Films with High Dielectric Constant.

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資料種別: 記事
タイトル: Vacuum Equipment and Application for Thin Film in the Multimedia. Deposition Technique for Capacitor Films with High Dielectric Constant.
巻次・部編番号: 48
11
著者・編者: 川原孝昭
著者標目: KAWAHARA Takaaki
川原孝昭
出版年月日等: 1997
出版年（W3CDTF）: 1997
並列タイトル等: マルチメディア時代における真空装置と薄膜応用　　高誘電率薄膜成膜技術
タイトル（掲載誌）: 表面技術
Journal of The Surface Finishing Society of Japan
巻号年月日等（掲載誌）: 48 11
掲載巻: 48
掲載号: 11
掲載ページ: 1054-1058
ISSN（掲載誌）: 0915-1869
1884-3409
ISSN-L（掲載誌）: 0915-1869
著者別名: KAWAHARA Takaaki
件名標目: Liquid Source CVD
BST
Capacitor
Gbit-scale DRAM
対象利用者: 一般
DOI: 10.4139/sfj.48.1054
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE