Development of Photocuring Acrylic/silica Organic-Inorganic Hybrid for Negative Resists
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- Kimihiro MatsukawaYukihito MatsuuraHiroshi Inoue 他
- タイトル（掲載誌）
- Journal of photopolymer science and technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 14(2) 2001
- 掲載巻
- 14
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 181～184
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2001