光またはプラズマ励起酸素原子による低温酸化と多結晶Si薄膜トランジスタへの応用 (小特集 最新の酸化膜作製技術とその応用)
デジタルデータあり（科学技術振興機構）
すぐに読む
J-STAGE
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
その他
J-STAGE
デジタルCiNii Research
検索サービスデジタル連携先のサイトで、CiNii Researchが連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中田 行彦東 和文岡本 哲也 他
- シリーズタイトル
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 47(5) 2004.5
- 掲載巻
- 47
- 掲載号
- 5
- 掲載ページ
- 357～363