フリーマン型イオン源におけるメチルシランのフラグメントイオンとタングステンワイヤ表面状態
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 藤 章至吉村 智杉本 敏司 他
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 49(6) 2006.6
- 掲載巻
- 49
- 掲載号
- 6
- 掲載ページ
- 383～385
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2006-06