ガラス精密研磨用酸化セリウム系スラリーの劣化挙動

• 資料種別: 記事
• タイトル: ガラス精密研磨用酸化セリウム系スラリーの劣化挙動
• 巻次・部編番号: 2012S; 0
• 著者・編者: 川原 浩一; 本間 隆行; 須田 聖一; 木下 久美子
• 著者標目: Kawahara Koichi; 川原 浩一; Honma Takayuki; 本間 隆行; Suda Seiichi; 須田 聖一; Kinoshita Kumiko; 木下 久美子
• 出版年月日等: 2012
• 出版年（W3CDTF）: 2012
• 並列タイトル等: Degradation of Cerium Oxide-based Abrasive Slurry in Glass Polishing
• タイトル（掲載誌）: 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集; Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br> Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2012S 0
• 掲載巻: 2012S
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 560-560
• 著者別名: Kawahara Koichi; Honma Takayuki; Suda Seiichi; Kinoshita Kumiko
• 件名標目: Degradation; 劣化; Glass polishing; ガラス研磨; Cerium oxide; 酸化セリウム
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.14853/pcersj.2012S.0.560.0
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: ガラス精密研磨では、セリア系スラリーは循環しながら用いられている。この場合、スラリーには寿命があることが経験的に知られており、研磨速度の低下が始まるとスラリー交換を行うのが一般的である。したがって、スラリー寿命の解明はセリウム使用量低減に重要な因子であるが、その詳細は明らかではないのが現状である。そ...