ガラス精密研磨用酸化セリウム系スラリーの劣化挙動

• Material Type: 記事
• Title: ガラス精密研磨用酸化セリウム系スラリーの劣化挙動
• Volume: 2012S; 0
• Author/Editor: 川原 浩一; 本間 隆行; 須田 聖一; 木下 久美子
• Author Heading: Kawahara Koichi; 川原 浩一; Honma Takayuki; 本間 隆行; Suda Seiichi; 須田 聖一; Kinoshita Kumiko; 木下 久美子
• Publication Date: 2012
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Alternative Title: Degradation of Cerium Oxide-based Abrasive Slurry in Glass Polishing
• Periodical title: 日本セラミックス協会 年会・秋季シンポジウム 講演予稿集; Preprints of Annual Meeting of The Ceramic Society of Japan<br> Preprints of Fall Meeting of The Ceramic Society of Japan
• No. or year of volume/issue: 2012S 0
• Volume: 2012S
• Issue: 0
• Pages: 560-560
• Alias of Author: Kawahara Koichi; Honma Takayuki; Suda Seiichi; Kinoshita Kumiko
• Subject Heading: Degradation; 劣化; Glass polishing; ガラス研磨; Cerium oxide; 酸化セリウム
• Target Audience: 一般
• DOI: 10.14853/pcersj.2012S.0.560.0
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: ガラス精密研磨では、セリア系スラリーは循環しながら用いられている。この場合、スラリーには寿命があることが経験的に知られており、研磨速度の低下が始まるとスラリー交換を行うのが一般的である。したがって、スラリー寿命の解明はセリウム使用量低減に重要な因子であるが、その詳細は明らかではないのが現状である。そ...