非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法

• 資料種別: 記事
• タイトル: 非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法
• 巻次・部編番号: 2003A; 0
• 著者・編者: 栗山 豊; 横山 雄一郎; 石井 恭; 石川 純
• 著者標目: Kuriyama Yutaka; 栗山 豊; Yokoyama Yuichirou; 横山 雄一郎; Ishii Yasushi; 石井 恭; Ishikawa Jun; 石川 純
• 出版年月日等: 2003
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 並列タイトル等: New calibration technique for Gauge Blocks using no wringing
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2003A 0
• 掲載巻: 2003A
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 111-111
• 著者別名: Kuriyama Yutaka; Yokoyama Yuichirou; Ishii Yasushi; Ishikawa Jun
• 件名標目: uncertainty; 不確かさ; wringing; リンギング; gauge block interferometer; ブロックゲージ干渉計
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2003A.0.111.0
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: ゲージブロックの中央寸法偏差および端面形状測定において，リンギングに起因する不確かさや面の歪みを排除し，かつスループットを向上することを目的とし，非リンギングで両端面の干渉画像を同時取得し寸法と形状を一括測定する校正装置を開発した．本手法の実用化には技術上・規格上の問題があるものの，現在までのところ...