非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法

• Material Type: 記事
• Title: 非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法
• Volume: 2003A; 0
• Author/Editor: 栗山 豊; 横山 雄一郎; 石井 恭; 石川 純
• Author Heading: Kuriyama Yutaka; 栗山 豊; Yokoyama Yuichirou; 横山 雄一郎; Ishii Yasushi; 石井 恭; Ishikawa Jun; 石川 純
• Publication Date: 2003
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Alternative Title: New calibration technique for Gauge Blocks using no wringing
• Periodical title: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• No. or year of volume/issue: 2003A 0
• Volume: 2003A
• Issue: 0
• Pages: 111-111
• Alias of Author: Kuriyama Yutaka; Yokoyama Yuichirou; Ishii Yasushi; Ishikawa Jun
• Subject Heading: uncertainty; 不確かさ; wringing; リンギング; gauge block interferometer; ブロックゲージ干渉計
• Target Audience: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2003A.0.111.0
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: ゲージブロックの中央寸法偏差および端面形状測定において，リンギングに起因する不確かさや面の歪みを排除し，かつスループットを向上することを目的とし，非リンギングで両端面の干渉画像を同時取得し寸法と形状を一括測定する校正装置を開発した．本手法の実用化には技術上・規格上の問題があるものの，現在までのところ...