ドライエッチングによるグラッシーカーボンの微細構造の形成

• 資料種別: 記事
• タイトル: ドライエッチングによるグラッシーカーボンの微細構造の形成
• 巻次・部編番号: 2007A; 0
• 著者・編者: 根本 佳実; 谷口 淳; 山内 瑛樹; 杉山 嘉也
• 著者標目: Nemoto Yoshimi; 根本 佳実; Taniguchi Jun; 谷口 淳; Yamauchi Eiki; 山内 瑛樹; Sugiyama Yoshinari; 杉山 嘉也
• 出版年月日等: 2007
• 出版年（W3CDTF）: 2007
• 並列タイトル等: Fabrication of nano-structure on GC using dry etching
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2007A 0
• 掲載巻: 2007A
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 879-880
• 著者別名: Nemoto Yoshimi; Taniguchi Jun; Yamauchi Eiki; Sugiyama Yoshinari
• 件名標目: nano inprint lithography; NIL; Electron Cyclotron Resonance; ECR; reactive ion beam etching; RIBE; glassy carbon; GC
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2007A.0.879.0
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: 本研究室によりO2ガスを用いて、イオンビームエッチングによりガラス状炭素材料であるGC(glassy carbon)を加工することによって、反射防止構造が作製されることが分かっている。本報では、GC上に反射防止構造が作製される過程を調べる為、時間形状を追い、比較、検討を行った。（提供元: J-STA...