ドライエッチングによるグラッシーカーボンの微細構造の形成

• Material Type: 記事
• Title: ドライエッチングによるグラッシーカーボンの微細構造の形成
• Volume: 2007A; 0
• Author/Editor: 根本 佳実; 谷口 淳; 山内 瑛樹; 杉山 嘉也
• Author Heading: Nemoto Yoshimi; 根本 佳実; Taniguchi Jun; 谷口 淳; Yamauchi Eiki; 山内 瑛樹; Sugiyama Yoshinari; 杉山 嘉也
• Publication Date: 2007
• Publication Date (W3CDTF): 2007
• Alternative Title: Fabrication of nano-structure on GC using dry etching
• Periodical title: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• No. or year of volume/issue: 2007A 0
• Volume: 2007A
• Issue: 0
• Pages: 879-880
• Alias of Author: Nemoto Yoshimi; Taniguchi Jun; Yamauchi Eiki; Sugiyama Yoshinari
• Subject Heading: nano inprint lithography; NIL; Electron Cyclotron Resonance; ECR; reactive ion beam etching; RIBE; glassy carbon; GC
• Target Audience: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2007A.0.879.0
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: 本研究室によりO2ガスを用いて、イオンビームエッチングによりガラス状炭素材料であるGC(glassy carbon)を加工することによって、反射防止構造が作製されることが分かっている。本報では、GC上に反射防止構造が作製される過程を調べる為、時間形状を追い、比較、検討を行った。(Provided b...