同心円回折格子干渉計を用いた軸受のラジアル アキシャル アンギュラモーションの同時測定法 : 第2 報：光学センサーの性能評価

• 資料種別: 記事
• タイトル: 同心円回折格子干渉計を用いた軸受のラジアル アキシャル アンギュラモーションの同時測定法 : 第2 報：光学センサーの性能評価
• 巻次・部編番号: 2011A; 0
• 著者・編者: 明田川 正人; マディン ムハマッド; スアエッテイム ジャラスイ; 奥山 栄樹
• 著者標目: Aketagawa Masato; 明田川 正人; Madden Muhummad; マディン ムハマッド; Soeatuptim Jaratsri; スアエッテイム ジャラスイ; Okuyama Eiki; 奥山 栄樹
• 出版年月日等: 2011
• 出版年（W3CDTF）: 2011
• 並列タイトル等: Concurrent measurement method for spindle radial, axial and angular motions using concentric grating interferometers : 2nd report: Performance evaluation of the optical sensor
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2011A 0
• 掲載巻: 2011A
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 872-873
• 著者別名: Aketagawa Masato; Madden Muhummad; Soeatuptim Jaratsri; Okuyama Eiki
• 件名標目: concentric grating interferometer; 同心円回折格子干渉計; angular motion; アンギュラモーション; axial motion; アキシャルモーション; radial motion; ラジアルモーション; spindle; スピンドル
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2011A.0.872.0
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: In this paper, we describe a concurrent measurement method for spindle radial, axial and angular motions using concentric circle grating interferomete...