ターボ分子ポンプの仕組みと選定について
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 廣瀬 均
- 著者標目
- 並列タイトル等
- The New Generation in Turbo Molecular Pump Engineering-Turbovac i and How to Select TMPs
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 58(12):2015.12
- 掲載巻
- 58
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- 446-450