樹脂レプリカモールドを用いた熱ナノインプリント技術

• 資料種別: 記事
• タイトル: 樹脂レプリカモールドを用いた熱ナノインプリント技術
• 巻次・部編番号: 2016S; 0
• 著者・編者: 垣本 翔平; 海野 徳幸; 日和佐 伸; 谷口 淳
• 著者標目: 垣本 翔平; Kakimoto Shohei; 海野 徳幸; Unno Noriyuki; 日和佐 伸; Hiwasa Shin; 谷口 淳; Taniguchi Jun
• 出版年月日等: 2016
• 出版年（W3CDTF）: 2016
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2016S 0
• 掲載巻: 2016S
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 235-236
• 著者別名: Kakimoto Shohei; Unno Noriyuki; Hiwasa Shin; Taniguchi Jun
• 件名標目: UV硬化樹脂; UV curable resin; 熱ナノインプリントリソグラフィ; Thermal nanoimprint lithography; レプリカモールド; replica mold
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2016S.0_235
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: 高硬度かつ高撥水性を併せ持つ新規UV硬化樹脂と既存の樹脂を用いて、レプリカモールドを作製し，熱ナノインプリントリソグラフィ(T-NIL)を行った。まず，新規UV硬化樹脂と既存のUV硬化樹脂を用いて，UVナノインプリントリソグラフィ(UV-NIL)によりレプリカモールドを作製した。それらのレプリカモー...