樹脂レプリカモールドを用いた熱ナノインプリント技術

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Summary, etc.：: 高硬度かつ高撥水性を併せ持つ新規UV硬化樹脂と既存の樹脂を用いて、レプリカモールドを作製し，熱ナノインプリントリソグラフィ(T-NIL)を行った。まず，新規UV硬化樹脂と既存のUV硬化樹脂を用いて，UVナノインプリントリソグラフィ(UV-NIL)によりレプリカモールドを作製した。それらのレプリカモー...

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Material Type: 記事
Title: 樹脂レプリカモールドを用いた熱ナノインプリント技術
Volume: 2016S
0
Author/Editor: 垣本翔平
海野徳幸
日和佐伸
谷口淳
Author Heading: 垣本翔平
Kakimoto Shohei
海野徳幸
Unno Noriyuki
日和佐伸
Hiwasa Shin
谷口淳
Taniguchi Jun
Publication Date: 2016
Publication Date (W3CDTF): 2016
Periodical title: 精密工学会学術講演会講演論文集
Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
No. or year of volume/issue: 2016S 0
Volume: 2016S
Issue: 0
Pages: 235-236
Alias of Author: Kakimoto Shohei
Unno Noriyuki
Hiwasa Shin
Taniguchi Jun
Subject Heading: UV硬化樹脂
UV curable resin
熱ナノインプリントリソグラフィ
Thermal nanoimprint lithography
レプリカモールド
replica mold
Target Audience: 一般
DOI: 10.11522/pscjspe.2016S.0_235
Access Restrictions: インターネット公開
Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE
http://www.jstage.jst.go.jp