特殊材料ガスの危険性(先端技術の安全特集号)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 特殊材料ガスの危険性
• 著者・編者: 近藤 重雄
• シリーズタイトル: 先端技術の安全特集号
• 著者標目: 近藤 重雄
• タイトル（掲載誌）: 安全工学 = Journal of Japan Society for Safety Engineering / 安全工学会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 33(6) 1994.12
• 掲載巻: 33
• 掲載号: 6
• 掲載ページ: p354～360
• 掲載年月日（W3CDTF）: 1994-12
• ISSN（掲載誌）: 0570-4480
• ISSN-L（掲載誌）: 0570-4480
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 安全工学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZM25
• 対象利用者: 一般
• コレクション（共通）: 障害者向け資料
• コレクション（障害者向け資料：レベル1）: テキストデータ
• コレクション（障害者向け資料：レベル2）: プレーンテキスト
• コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > デジタル化資料 > 雑誌; https://dl.ndl.go.jp/collections/A00002
• オンライン閲覧公開範囲: 国立国会図書館内限定公開
• デジタル化資料送信: 図書館・個人送信対象外
• 遠隔複写可否（NDL）: 可
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z14-16
• 掲載誌（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/3200237; https://dl.ndl.go.jp/pid/3200237
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 3899206; http://id.ndl.go.jp/bib/3899206
• 整理区分コード: 632

• 要約等: <p><tt><b>半導体製造などの先端産業で原材料ガスとして用いられているシラン，ジシランなどの特殊材料ガスは，爆発範囲が広く，自然発火性であったり，分解爆発性であったり，毒性を有していたり危険性のきわめて大きいものが多い．そのため，平成3年の高圧ガス取締法の改正により，消費には厳しい技術規準が課...