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雑誌安全工学
Volume number33(6)(183)
Article特殊材料ガスの危険性

特殊材料ガスの危険性 (先端技術の安全特集号)

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特殊材料ガスの危険性(先端技術の安全特集号)

Call No. (NDL)
Z14-16
Bibliographic ID of National Diet Library
3899206
Material type
記事
Author
近藤 重雄
Publisher
東京 : 安全工学会
Publication date
1994-12
Material Format
Digital
Journal name
安全工学 = Journal of Japan Society for Safety Engineering / 安全工学会 編 33(6) 1994.12
Publication Page
p.p354～360
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Detailed bibliographic record

Summary, etc.：

<p><tt><b>半導体製造などの先端産業で原材料ガスとして用いられているシラン，ジシランなどの特殊材料ガスは，爆発範囲が広く，自然発火性であったり，分解爆発性であったり，毒性を有していたり危険性のきわめて大きいものが多い．そのため，平成3年の高圧ガス取締法の改正により，消費には厳しい技術規準が課...

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Digital

Material Type
記事
Title
特殊材料ガスの危険性
Author/Editor
近藤 重雄
Series Title
先端技術の安全特集号
Author Heading
近藤 重雄
Periodical title
安全工学 = Journal of Japan Society for Safety Engineering / 安全工学会 編
No. or year of volume/issue
33(6) 1994.12
Volume
33
Issue
6
Pages
p354～360