AESを利用した極低入射電圧SEM像におけるコントラスト反転現象の解明

• 資料種別: 記事
• タイトル: AESを利用した極低入射電圧SEM像におけるコントラスト反転現象の解明
• 巻次・部編番号: 2019; 0
• 著者・編者: 作田 裕介; 朝比奈 俊輔; 堤 建一; 小野寺 浩
• 著者標目: Sakuda Yusuke; 作田 裕介; Asahina Shunsuke; 朝比奈 俊輔; Tsutsumi Kenichi; 堤 建一; Onodera Hiroshi; 小野寺 浩
• 出版年月日等: 2019
• 出版年（W3CDTF）: 2019
• 並列タイトル等: Investigation of contrast reversal phenomenon in SEM images under low incident acceleration voltage using AES
• タイトル（掲載誌）: 日本表面真空学会学術講演会要旨集; Abstract book of Annual Meeting of the Japan Society of Vacuum and Surface Science
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2019 0
• 掲載巻: 2019
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 1P57
• ISSN（掲載誌）: 2434-8589
• 著者別名: Sakuda Yusuke; Asahina Shunsuke; Tsutsumi Kenichi; Onodera Hiroshi
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.14886/jvss.2019.0_1P57
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: <p>In recent years, SEM has made it possible to acquire a backscattered electron (BSE) compositional image of the sample surface at a low incident vol...