3軸同期スキャンリソグラフィ技術を用いた円筒マイクロ部品加工の基礎検討

• 資料種別: 記事
• タイトル: 3軸同期スキャンリソグラフィ技術を用いた円筒マイクロ部品加工の基礎検討
• 巻次・部編番号: 2021S; 0
• 著者・編者: 曽 子維; 野田 裕太; 堀内 敏行; 小林 宏史
• 著者標目: Tseng Tzu-wei; 曽 子維; Noda Yuta; 野田 裕太; Horiuchi Toshiyuki; 堀内 敏行; Kobayashi Hiroshi; 小林 宏史
• 出版年月日等: 2021-03-03
• 出版年（W3CDTF）: 2021-03-03
• タイトル（掲載誌）: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2021S 0
• 掲載巻: 2021S
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 797-798
• 著者別名: Tseng Tzu-wei; Noda Yuta; Horiuchi Toshiyuki; Kobayashi Hiroshi
• 件名標目: Scan; Lithography; スキャン; リソグラフィ
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2021S.0_797
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: <p>円柱・円筒形試料へのリソグラフィ技術として、試料を軸中心に回転させながらマスクを軸直角方向に同期移動させることで、試料表面360度にパターンを転写する露光方法を検討してきた。今回は、新たに試料を軸方向に送る機構を取り付けて、3軸を同期させながらスキャン露光を実施した。ネガ型レジストを塗布した直...