3軸同期スキャンリソグラフィ技術を用いた円筒マイクロ部品加工の基礎検討

• Material Type: 記事
• Title: 3軸同期スキャンリソグラフィ技術を用いた円筒マイクロ部品加工の基礎検討
• Volume: 2021S; 0
• Author/Editor: 曽 子維; 野田 裕太; 堀内 敏行; 小林 宏史
• Author Heading: Tseng Tzu-wei; 曽 子維; Noda Yuta; 野田 裕太; Horiuchi Toshiyuki; 堀内 敏行; Kobayashi Hiroshi; 小林 宏史
• Publication Date: 2021-03-03
• Publication Date (W3CDTF): 2021-03-03
• Periodical title: 精密工学会学術講演会講演論文集; Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
• No. or year of volume/issue: 2021S 0
• Volume: 2021S
• Issue: 0
• Pages: 797-798
• Alias of Author: Tseng Tzu-wei; Noda Yuta; Horiuchi Toshiyuki; Kobayashi Hiroshi
• Subject Heading: Scan; Lithography; スキャン; リソグラフィ
• Target Audience: 一般
• DOI: 10.11522/pscjspe.2021S.0_797
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: <p>円柱・円筒形試料へのリソグラフィ技術として、試料を軸中心に回転させながらマスクを軸直角方向に同期移動させることで、試料表面360度にパターンを転写する露光方法を検討してきた。今回は、新たに試料を軸方向に送る機構を取り付けて、3軸を同期させながらスキャン露光を実施した。ネガ型レジストを塗布した直...