ホローカソード放電のインパルス駆動による細穴内面DLC成膜（その２）

• 資料種別: 記事
• タイトル: ホローカソード放電のインパルス駆動による細穴内面DLC成膜（その２）
• 巻次・部編番号: 2024.23; 0
• 著者・編者: 川口 寧々; 上坂 裕之
• 著者標目: 川口 寧々; 上坂 裕之
• 出版年月日等: 2024
• 出版年（W3CDTF）: 2024
• 並列タイトル等: DLC coating inside a small metal tube using impulse-driven hollow cathode discharge (No. 2)
• タイトル（掲載誌）: 機素潤滑設計部門講演会講演論文集; The Proceedings of the Machine Design and Tribology Division meeting in JSME
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2024.23 0
• 掲載巻: 2024.23
• 掲載号: 0
• 掲載ページ: 2A2-4
• ISSN（掲載誌）: 2424-3051
• 件名標目: Internal coating; DLC; surface treatment; Hollow Cathode Dischage; plasma CVD
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.1299/jsmemdt.2024.23.2A2-4
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: <p>Plasma CVD requires the generation of high-density plasma when depositing films on the internal surface of millimeter-size tubes. Hollow cathode di...