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CVD法を用いたサファイア基板上h-BNの合成制御 2022.1 0

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CVD法を用いたサファイア基板上h-BNの合成制御

資料種別
記事
著者
原田 哲匡ほか
出版者
-
出版年
2022-02-25
資料形態
デジタル
掲載誌名
応用物理学会学術講演会講演予稿集 2022.1 0
掲載ページ
p.2964-2964
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
巻次・部編番号
2022.1
0
著者・編者
原田 哲匡
八木 龍斗
川合 良知
佐々木 拓生
日比野 浩樹
出版年月日等
2022-02-25
出版年(W3CDTF)
2022-02-25
並列タイトル等
Controlled growth of h-BN on sapphire substrates using CVD
タイトル(掲載誌)
応用物理学会学術講演会講演予稿集
JSAP Annual Meetings Extended Abstracts
巻号年月日等(掲載誌)
2022.1 0