半導体ピエゾ抵抗効果を利用した指先サイズの6軸力センサ

• 資料種別: 記事
• タイトル: 半導体ピエゾ抵抗効果を利用した指先サイズの6軸力センサ
• 巻次・部編番号: 24; 1
• 著者・編者: 大里 毅; 櫻井 伸弘; 神部 靖彦; 保家 茂則; 平林 祐輔; 横林 寛
• 著者標目: 大里 毅; OHSATO Takeshi; 櫻井 伸弘; SAKURAI Nobuhiro; 神部 靖彦; JINBU Yasuhiko; 保家 茂則; YASUIE Shigenori; 平林 祐輔; HIRABAYASHI Yusuke; 横林 寛; YOKOBAYASHI Hiroshi
• 出版年月日等: 2012-03-01
• 出版年（W3CDTF）: 2012-03-01
• 並列タイトル等: Fingertip-size Six-axis Force and Moment Sensor Using Semiconductor Piezoresistance Effect
• タイトル（掲載誌）: Honda R&D Technical Review
• 巻号年月日等（掲載誌）: 24 1
• 掲載巻: 24
• 掲載号: 1
• 掲載ページ: 42-45
• ISSN（掲載誌）: 0915-3918; 2187-381X
• ISSN-L（掲載誌）: 2187-381X
• 著者別名: OHSATO Takeshi; SAKURAI Nobuhiro; JINBU Yasuhiko; YASUIE Shigenori; HIRABAYASHI Yusuke; YOKOBAYASHI Hiroshi
• 件名標目: 小型; 高精度; 温度特性; 量産性; 6軸力センサ; 半導体ピエゾ抵抗効果; 温度補償; 応力減衰機構; 陽極接合; 精密勘合; ロボット指先; T字梁; シリコンチップ; ガラス; 金属製筐体
• 対象利用者: 一般
• DOI: 10.69239/hondatechnicalreview.2012_24_1_7
• オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
• 連携機関・データベース: 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• 要約等: <p>A compact six-axis force and moment sensor that can be mounted in a fingertip is proposed to enhance the holding function of robots.</p><p>Specifica...