半導体ピエゾ抵抗効果を利用した指先サイズの6軸力センサ

• Material Type: 記事
• Title: 半導体ピエゾ抵抗効果を利用した指先サイズの6軸力センサ
• Volume: 24; 1
• Author/Editor: 大里 毅; 櫻井 伸弘; 神部 靖彦; 保家 茂則; 平林 祐輔; 横林 寛
• Author Heading: 大里 毅; OHSATO Takeshi; 櫻井 伸弘; SAKURAI Nobuhiro; 神部 靖彦; JINBU Yasuhiko; 保家 茂則; YASUIE Shigenori; 平林 祐輔; HIRABAYASHI Yusuke; 横林 寛; YOKOBAYASHI Hiroshi
• Publication Date: 2012-03-01
• Publication Date (W3CDTF): 2012-03-01
• Alternative Title: Fingertip-size Six-axis Force and Moment Sensor Using Semiconductor Piezoresistance Effect
• Periodical title: Honda R&D Technical Review
• No. or year of volume/issue: 24 1
• Volume: 24
• Issue: 1
• Pages: 42-45
• ISSN (Periodical Title): 0915-3918; 2187-381X
• ISSN-L (Periodical Title): 2187-381X
• Alias of Author: OHSATO Takeshi; SAKURAI Nobuhiro; JINBU Yasuhiko; YASUIE Shigenori; HIRABAYASHI Yusuke; YOKOBAYASHI Hiroshi
• Subject Heading: 小型; 高精度; 温度特性; 量産性; 6軸力センサ; 半導体ピエゾ抵抗効果; 温度補償; 応力減衰機構; 陽極接合; 精密勘合; ロボット指先; T字梁; シリコンチップ; ガラス; 金属製筐体
• Target Audience: 一般
• DOI: 10.69239/hondatechnicalreview.2012_24_1_7
• Access Restrictions: インターネット公開
• Data Provider (Database): 科学技術振興機構 : J-STAGE; http://www.jstage.jst.go.jp

• Summary, etc.: <p>A compact six-axis force and moment sensor that can be mounted in a fingertip is proposed to enhance the holding function of robots.</p><p>Specifica...